根据行业标准制修订计划，相关标准化技术组织已完成电子行业《半导体设备 集成电路制造用湿法设备测试方法》等10项行业标准的编制工作。为进一步听取社会各界意见，现予以公示。

以上标准报批稿请登录“中国电子工业标准化技术协会”网站（www.cesa.cn）“标准报批公示”栏目阅览，如有意见请于公示期内反馈。

公示时间：2026年4月8日—2026年5月7日

联系电话：010–68205241

工业和信息化部科技司

2026年4月7日